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硅紅外濾光片旨在降低直拉硅單晶氧含量,提高硅紅外濾光片透過率的硅片熱處理工藝。其特征是將硅片在400-1000℃溫度間的四段溫區(qū)逐步升溫并保溫適當時間并在硅片冷卻至850℃以下時取出,
處理后的直拉硅單晶片在9um處的透過率接近或達到區(qū)熔硅單晶的水平,用熱處理后的廉價直拉硅單晶片制造的紅外濾光片,可滿足紅外儀器設備所需紅外濾光片的要求,大大降低了濾光片的成本。
硅紅外濾光片的熱處理工藝,包括硅片的切、磨、拋光和腐蝕清洗及熱處理用石英爐管的HCl處理,
它的特征在于:
1.在爐溫低于400℃時,裝入硅片,
2.將爐溫升至400-550℃,保溫10-30小時;然后升溫至700-800℃,保溫10-30小時,再升溫至800-900℃,保溫2-5小時,最后升溫至900-1000℃,保溫2-5小時,
3.在爐溫降至850℃以下時,取出硅片。
硅單晶紅外濾光片具有良好的紅外光譜特性以及物理性能,目前已經(jīng)廣泛的在紅外傳感器濾光片主要采用單晶硅為基片,通過在基片上交替鍍制不同折射率和厚度的材料薄膜,使基材具有長波通、短波通,帶通,增透,反射等光學功能。
我司生產(chǎn)的單晶硅紅外濾光片主要應用在激光、成像、探測、測溫、傳感、航空航天等領域的傳感器上面,所以也叫紅外傳感器專用濾光片。
硅單晶紅外濾光片主要應用:
1、紅外報警器
2、高清晰夜視儀
3、體溫測溫儀
4、紅外熱成像儀
5、大氣體分析儀
深圳納宏光電生產(chǎn)的硅單晶紅外濾光片的特點具有波長定位準確、透過高、截止深、溫飄小、耐用性好、光潔度好等特點。深圳納宏光電擁有多臺進口分光測試儀,覆蓋了紫外波段,可見光波段,近紅外波段到中遠紅外波段的190nm~28000nm范圍內(nèi)的光學指標。
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